技術(shù)參數(shù)：

旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)

 重復(fù)精度(徑向)

(0.02+6H/10000)um

 重復(fù)精度(軸向)

(0.02+6R/10000)um

H為測(cè)量高度(mm),R為測(cè)量半徑(mm)

 轉(zhuǎn)速

4,6,10rpm

 工作臺(tái)有效直徑

150mm

 大調(diào)心幅度

3mm(帶有D.A.T.功能)

 大調(diào)水平幅度

1°(帶有D.A.T.功能)

 大測(cè)量直徑

100mm

 大工件直徑

400mm*

 大工件重量

10Kg

垂直軸(Z軸)

 垂直移動(dòng)

150mm

 直線度(窄范圍)

0.15um/50mm

 直線度(全范圍)

0.3um/150mm

 與轉(zhuǎn)臺(tái)軸平行度

0.3um/150mm

 定位速度

利用操縱桿，大15mm/s(也可手動(dòng)進(jìn)給)

 測(cè)量速度

0.5，1，2，5mm/s

 大檢測(cè)高度

150mm(外徑),150mm(內(nèi)徑)

 大檢測(cè)深度

90mm

水平臂(X軸)

 水平移動(dòng)

75mm(包括工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)中心25mm的突出量)

 定位速度

利用操縱桿，大8mm/s(也可手動(dòng)進(jìn)給)

測(cè)針和測(cè)頭

 測(cè)量范圍

400um

 測(cè)力

7-10mN

 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭

12AAB681、硬質(zhì)合金球、 1.6mm

 測(cè)量方向

雙方向

 測(cè)頭角度調(diào)整

45°(帶刻度)

數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)

 分析軟件

Roundpak

 用于圓度評(píng)估的

 參考圓

LSC,MZC,MIC,MCC

 濾波類型

2CR-75%,2CR-50%,2CR-75%(相位校正),2CR-50%(相位校正、高斯濾波

器、濾波器關(guān)斷)

 截止值

15upr,50upr,150upr,500upr,1500upr,15-150upr,15-500upr,15-1500upr,50-500upr，50-1500upr,150-1500upr,手動(dòng)設(shè)定

供氣

 氣壓

390kpa(4kgf/ )

 耗氣量

30L/min

 電源

100V AC-240V AC,50/60Hz

  *如選用測(cè)針夾鉗(1211B597),則測(cè)量范圍可擴(kuò)展至 70mm至 220mm.

 如需進(jìn)行離工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)中心小于或等于20mm、離工作臺(tái)面小于或等于20mm的徑向測(cè) 量，則需使用附件臺(tái)選件(356038)